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一种用于使四卤化硅及冶金级硅（ＭＧＳ）氢化成三卤硅烷的反应器，其包括由冶金硅颗粒构成的底座、一个或多个进气口、一个或多个固体进口、一个或多个固体排出口及一个或多个用于从反应器中移除三卤硅烷的端口。由于进入反应器的四卤化硅／氢气进料流中夹带进...
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