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磁性膜附着体及其制造方法技术
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文档序号:7156951
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本发明提供一种在基体上附着磁性膜而成的磁性膜附着体的制造方法。该制造方法具备:准备基体的工序和在基体上形成包含交替地层叠的有机物膜及铁氧体膜的磁性膜的工序。在该制造方法中,形成磁性膜的工序交替地进行利用铁氧体镀膜法形成具有20μm以下的膜厚...
该专利属于NEC东金株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过NEC东金株式会社授权不得商用。
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