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用于在图样光投影照射时感测纳米加工元件（１６）的位置的晶圆级纳米计量系统（１０），所述图样光投影限定了一网格或位置测量准具，该系统包括稳频激光发射器（１２），该稳频激光发射器被配置为以选定的频率生成激光发射，其中该激光发射形成发散的光束，该...
该专利属于康奈尔大学所有，仅供学习研究参考，未经过康奈尔大学授权不得商用。

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