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磁盘基板用研磨液组合物制造技术
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文档序号:7156777
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本发明提供一种能够在不损害生产率的情况下减少研磨后的基板的划痕和表面粗糙度的磁盘基板用研磨液组合物、以及使用了该研磨液组合物的磁盘基板的制造方法。本发明涉及一种磁盘基板用研磨液组合物,其含有ΔCV值为0~10%的胶体二氧化硅和水,所述ΔCV...
该专利属于花王株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过花王株式会社授权不得商用。
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