下载磁盘基板用研磨液组合物的技术资料

文档序号:7156777

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本发明提供一种能够在不损害生产率的情况下减少研磨后的基板的划痕和表面粗糙度的磁盘基板用研磨液组合物、以及使用了该研磨液组合物的磁盘基板的制造方法。本发明涉及一种磁盘基板用研磨液组合物,其含有ΔCV值为0~10%的胶体二氧化硅和水,所述ΔCV...
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