下载用于无定形或微晶MgO隧道势垒的铁磁性优先晶粒生长促进籽晶层的技术资料

文档序号:7156233

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一种MgO类磁性隧道结(MTJ)器件,其大体上包括铁磁性参照层、MgO隧道势垒和铁磁性自由层。MgO隧道势垒的微结构是无定形或具有不良(001)面外织构的微晶,所述MgO隧道势垒是通过其后为氧化处理的金属Mg沉积或反应性溅射制备的。在本发明...
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