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提供了自动定心基座环组件。该基座环组件包括基座环支撑构件和支撑在该基座环支撑构件上的基座环。该基座环支撑构件包括至少三个相对于该反应室的下方内表面向上延伸的销。该基座环包括至少三个制动器，所述制动器形成于底面中以容纳来自该基座环支撑构件的销...
该专利属于ＡＳＭ美国公司所有，仅供学习研究参考，未经过ＡＳＭ美国公司授权不得商用。

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