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本发明提供一种曝光装置，其为在一个方向上搬送ＴＦＴ用基板（８），隔着光掩膜（３）对ＴＦＴ用基板（８）间歇地照射光源光（２４），对应于形成于所述光掩膜（３）的多个掩膜图案在所述ＴＦＴ用基板（８）上形成曝光图案的曝光装置，所述光掩膜（３）的一表...
该专利属于株式会社Ｖ技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社Ｖ技术授权不得商用。

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