下载具有气密轴杆贯通部的真空阀的技术资料

文档序号:7151452

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本发明涉及一种真空阀(1),该真空阀用于中断、释放或控制真空阀(1)的内部(3)中的流动介质。联接到阀驱动装置(5)的轴杆(6)从大气区域(4)通过密封轴杆贯通部(20)穿过阀壳体(2)气密地导入内部(3),使得由阀驱动装置(5)产生的运动...
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