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本发明目的在于能够降低薄膜的基板面内的膜厚变动的影响，实现计测精度的提高。包括：对在璃基板上形成有薄膜的被检查基板（Ｗ）从该玻璃基板侧照射单波长的光的光源；以受光轴相对于从光源射出的照明光的光轴以预定的倾斜角度交叉的方式配置，对透过被检查基...
该专利属于三菱重工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱重工业株式会社授权不得商用。

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