下载具有凹槽的硅基底上的接合的技术资料

文档序号:7149921

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

公开了一种在硅基底上接合的方法及装置。装置包括具有膜表面的膜、膜表面上的凹槽、具有和膜表面基本平行的换能器表面的换能器、和将膜表面连接在换能器表面上的粘接剂。该凹槽可被设置为允许粘接剂流入且流经凹槽,而同时最小化可由凹槽的不完全填充引起的空...
该专利属于富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。