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一种适用于离子注入系统的偏折构件（２３６）包含：多个电极（２３６ａ，２３６ｂ），其可选择性偏压以致使通过其的离子束弯曲、偏折、聚焦、会聚、发散、加速、减速及／或去污染。由于这些电极为可选择性偏压，且因此其中一个或多个是可维持未偏压或断电，束...
该专利属于艾克塞利斯科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾克塞利斯科技公司授权不得商用。

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