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本发明提供一种氮化物薄膜结构及其形成方法。如果是在并非氮化物的衬底上形成氮化物薄膜，那么会因衬底与氮化物薄膜之间的晶格常数差异而产生许多缺陷。而且，存在因衬底与氮化物薄膜之间的热膨胀系数差异引起衬底翘曲的问题。为了解决这些问题，本发明提出一...
该专利属于财团法人首尔大学校产学协力团所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人首尔大学校产学协力团授权不得商用。

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