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本发明涉及用可变形束光刻的光学邻近校正、设计和制造光刻板方法，描述了一种方法，该方法用于使用可变形束（ＶＳＢ）发射来在表面上形成期望的图案，其中多个ＶＳＢ图案的联合与期望图案不同。另外，允许ＶＳＢ发射彼此重叠，并且允许发射的剂量不同。还公开...
该专利属于Ｄ２Ｓ公司所有，仅供学习研究参考，未经过Ｄ２Ｓ公司授权不得商用。

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