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音叉振荡器和其制造方法以及角速度传感器技术
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文档序号:7146185
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本发明提供一种音叉振荡器和其高效的制造方法,压电振荡器(70、72)包含具有基台部(74)和脚部(76a、76b)的音叉型的振动体(78)。另外,压电振荡器(70、72)作为两个压电体基板(80、82)、中间电极(84)、表面电极(86、8...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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