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用于光刻的高深宽比模板、制作相同模板的方法、以及这种模板在纳米级基板射孔中的应用技术
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文档序号:7143602
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本发明涉及模板和制作高深宽比模板、印章的方法;和使用以光刻为目的的纳米结构以进行纳米级压印;和使用所述模板在材料和产品上创建穿孔。...
该专利属于斯莫特克有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过斯莫特克有限公司授权不得商用。
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