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本发明的等离子体处理装置的特征在于，具备：处理容器，可保持与大气相比进行了减压的环境；排气单元，将所述处理容器的内部减压至规定压力；气体导入单元，向所述处理容器的内部导入工艺气体；微波导入单元，向所述处理容器的内部导入微波；及升降销，升降自...
该专利属于芝浦机械电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过芝浦机械电子株式会社授权不得商用。

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