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本发明提供一种微机电系统，能够通过抑制由应力引起的ＭＥＭＳ的固有振动频率的变动来抑制由ＭＥＭＳ的检测灵敏度的变动导致的测量精度下降。首先，由于半导体衬底（２）的变形，固定部（３ａ～３ｄ）在半导体衬底（２）的ｙ方向上向外侧方向位移。可动体（５...
该专利属于株式会社日立制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立制作所授权不得商用。

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