【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
1.一种微机电系统,在第一半导体芯片上形成有:(a)第一固定部;(b)一端与上述第一固定部连接的、能够弹性变形的第一梁;(c)第二固定部;(d)一端与上述第二固定部连接的、能够弹性变形的第二梁;和(e)与上述第一梁的另一端和上述第二梁的另一端连接的能够位移的可动体,上述微机电系统的特征在于:当上述第一固定部和上述第二固定部由于上述第一半导体芯片上产生的应力而向同一方向发生位移时,上述第一梁的弹簧常数比上述第一固定部不发生位移时增加,上述第二梁的弹簧常数比上述第二固定部不发生位移时减少。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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