下载具有经调节的斑点的活动斑点阵列平版印刷投影系统的技术资料

文档序号:7143136

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一种尤其用于微型平版印刷投影的活动斑点阵列投影系统(10)包括空间光调制器(14),例如具有可单独寻址元件(16)的数字微镜器件。例如微镜阵列的聚焦阵列(24)将光束的元件横向分段部分聚焦成斑点(34)。在空间光调制器和聚焦阵列之间的成像光...
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