【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
具有可寻址光调制阵列的微型平版印刷投影系统将有效受控的斑点图案投影到 感光基板上。这些系统尤其有益于生产平板显示器、印刷电路板、微机械系统以及其它微电 子设备。
技术介绍
传统微型平版印刷系统将掩模图像(也称刻线)投影到感光基板上。为了投影经 修正或更大的图案，这些掩模必须用包含不同或扩展图案的其它掩模来代替。所谓“无掩模的”或“无刻线的”微型平版印刷系统用空间光调制阵列和投影系统 来代替掩模，从而在基板上产生可控的图案。空间光调制阵列通过微型平版印刷系统调节 光的各横向分段部分的传输，用来将斑点图案投影到感光基板上。每个斑点通过光调制阵 列的一个或多个可寻址元件来调整。在经编程的控制中，斑点图案随着感光基板的相对平 移而变化，以在基板上曝露出连续可调的斑点图案。空间光调制阵列的可寻址元件充当微机械开关，用以控制光的各横向分段部分是 否到达感光基板。不同光学机构可用来实现切换功能，例如通过栅格光阀器件提供的相移 或数字微镜器件提供的方向可控的反射。典型地，投影系统在微型透镜阵列的相应微型透镜上形成可单独寻址元件中的每 一个的放大图像，并且微型透镜阵列的各微型透镜...
【技术保护点】
１．一种活动斑点阵列投影系统，包括：具有可单独寻址元件的空间光调制器，用以沿光学路径有选择地传递光束的相应的横向分段部分；所述可单独寻址元件包括周缘边界；沿光学路径的聚焦阵列，所述聚焦阵列具有用于将光束的横向分段部分聚焦成斑点的各个聚焦元件；沿光学路径的成像光学器件，用于将空间光调制器的可单独寻址元件成像到各聚焦元件上；沿光学路径的空间频率滤波器，其配置成使来自可单独寻址元件的光的某些空间频率发生衰减以便调整斑点的光分布，但不使来自可单独寻址元件的光的其它空间频率发生衰减，从而保持可单独寻址元件的周缘边界的成像分辨率并避免相邻斑点之间的串扰。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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