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本发明的正型感光性组合物含有：作为（Ａ）成分的硅树脂，所述硅树脂的１分子中具有至少２个以下述通式（１）表示的基团、作为（Ｂ）成分的具有缩水甘油基的硅氧烷化合物、作为（Ｃ）成分的重氮萘醌类、以及作为（Ｄ）成分的有机溶剂。永久抗蚀剂按下述方法制...
该专利属于株式会社艾迪科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社艾迪科授权不得商用。

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