温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于沉积一个或多个薄层的方法，其中，形成聚合物的过程气体与载气体一起借助于进气机构（３）流入沉积腔（８），以便在基体（７）的位于承接器（４）的与进气机构（３）间隔相对的支承面（４｀）上的表面（７｀）上沉积尤其是形式为聚合物的薄...
该专利属于艾克斯特朗股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾克斯特朗股份公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。