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压电器件,压电器件制备方法和液体排出装置制造方法及图纸
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文档序号:7141903
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提供一种具有含Pb的压电膜的压电器件,该压电膜的耐久性得到改善并且没有降低压电性质。压电器件(1)在基板(11)上以下列顺序具有下部电极(12);压电膜(13),其包含由下面的通式(P)表示的含Pb的钙钛矿氧化物;以及上部电极(14),其中...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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