下载压电器件,压电器件制备方法和液体排出装置的技术资料

文档序号:7141903

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提供一种具有含Pb的压电膜的压电器件,该压电膜的耐久性得到改善并且没有降低压电性质。压电器件(1)在基板(11)上以下列顺序具有下部电极(12);压电膜(13),其包含由下面的通式(P)表示的含Pb的钙钛矿氧化物;以及上部电极(14),其中...
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