下载具有扩展的有源区的半导体器件的技术资料

文档序号:7141739

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在半导体层中和上实现制作半导体器件(10)的方法。与第一有源区(24、26、28、30)相邻地形成沟槽(18、20、22)。用绝缘材料(32、34、36)填充沟槽。在沟槽的中心部分上形成掩蔽特征物(48、50、52)以在掩蔽特征物的第一侧与...
该专利属于飞思卡尔半导体公司所有,仅供学习研究参考,未经过飞思卡尔半导体公司授权不得商用。

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