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本发明涉及一种光学设备（１０１），具体是用于微光刻，包括光学模块（１０４）、支撑结构（１０９）和连接装置（１０８），其中，所述连接装置包括具有第一连接器部分（１１０．１）和第二连接器部分（１１０．２）的至少一个连接单元（１１０）。所述第一连...该专利属于卡尔蔡司ＳＭＴ有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司ＳＭＴ有限责任公司授权不得商用。
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本发明涉及一种光学设备（１０１），具体是用于微光刻，包括光学模块（１０４）、支撑结构（１０９）和连接装置（１０８），其中，所述连接装置包括具有第一连接器部分（１１０．１）和第二连接器部分（１１０．２）的至少一个连接单元（１１０）。所述第一连...