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设有嵌入硅/锗材料而具有提升的硼拘限性的晶体管制造技术
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下载设有嵌入硅/锗材料而具有提升的硼拘限性的晶体管的技术资料
文档序号:7141142
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本发明为一种设有嵌入硅/锗材料而具有提升的硼拘限性的晶体管。通过将扩散阻碍物种(256A)并入在包括硅/锗合金(255)的P沟道晶体管的PN接面的附近,可减少关于PN接面的非均匀性的扩散,因此促进装置稳定性的提升与整体晶体管性能的增加。能以...
该专利属于先进微装置公司所有,仅供学习研究参考,未经过先进微装置公司授权不得商用。
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