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一种静电电容式振动传感器，在具有空洞部（３７）的硅基板（３２）的上面设有接受振动而进行膜振动的振动电极板（３４）。另外，在振动电极板（３４）的上方设有固定电极板（３６），该固定电极板（３６）开设有沿厚度方向贯通的多个声音孔（４３），且使振动...
该专利属于欧姆龙株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过欧姆龙株式会社授权不得商用。

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