静电电容式振动传感器制造技术

一种静电电容式振动传感器，在具有空洞部（３７）的硅基板（３２）的上面设有接受振动而进行膜振动的振动电极板（３４）。另外，在振动电极板（３４）的上方设有固定电极板（３６），该固定电极板（３６）开设有沿厚度方向贯通的多个声音孔（４３），且使振动电极板（３４）与固定电极板（３６）相对。在空洞部（３７）的周围，在硅基板（３２）的上表面与振动电极板（３４）的下表面之间设有使振动电极板（３４）及固定电极板（３６）之间的气隙（３５）和所述空洞部（３７）连通的通风孔（４５）。在与通风孔（４５）相对应的区域，在振动电极板（３４）上开设有多个形成贯通孔状的排气部（４２）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种静电电容式振动传感器，其具备：　　基板，其具有空洞部；　　振动电极板，其在所述基板的上面侧与所述空洞部相对配置，接受振动而进行膜振动；　　固定电极板，其与所述振动电极板相对配置，并开设有沿厚度方向贯通的多个声音孔，其特征在于，　　在所述空洞部的周围的至少一部分，在所述基板的上表面与所述振动电极板的下表面之间具有使所述振动电极板及所述固定电极板间的空间与所述空洞部连通的空气路径部，　　在所述振动电极板或所述基板的面向所述空气路径部的部位形成有排气部，该排气部用于使该空气路径部的空气向所述振动电极板的厚度方向排出。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：笠井隆，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：JP