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本发明的目的是提供一种用于有机ＥＬ元件的密封膜，该密封膜由于不存在针孔而具有极佳的耐湿性。本发明的密封膜是用于有机ＥＬ元件的密封膜，该密封膜具有至少由三层构成的层状结构，其中氮化硅膜和氧氮化硅膜交替层叠，该密封膜的特征是从有机ＥＬ元件侧数起...
该专利属于富士电机控股株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士电机控股株式会社授权不得商用。

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