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分子抗蚀剂组合物、使用该组合物形成衬底图案的方法以及由此制备的工艺产品。本发明涉及包括有机胺的分子抗蚀剂组合物、使用该分子抗蚀剂组合物在衬底上形成特征的方法及由其制备的工艺产品。...
该专利属于纳诺泰拉公司所有，仅供学习研究参考，未经过纳诺泰拉公司授权不得商用。

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