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将非金属沉积物从含铝基板移除的非破坏性及选择性沉积移除方法技术
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下载将非金属沉积物从含铝基板移除的非破坏性及选择性沉积移除方法的技术资料
文档序号:7131945
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使用选择性沉积移除(SDR)溶液,选择性地从例如铝面板的含铝基板上移除非金属沉积物。SDR溶液实质上并不蚀刻面板孔洞,因此维持孔洞直径的完整性,并增加面板可清洁或翻新的次数,同时保持在处理孔径公差内。在实施例中,以溶液的wt%计,SDR溶液...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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