下载溅射压电材料的技术资料

文档序号:7131102

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明描述了具有Pb1.00+x(Zr0.52Ti0.48)1.00-yO3Nby组成的压电致动器,其中x>-0.02并且y>0。该压电材料可以具有钙钛矿,这使得当在致动器上施加偏压时可以具有良好的弯曲行为。...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。