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溅射压电材料制造技术
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文档序号:7131102
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本发明描述了具有Pb1.00+x(Zr0.52Ti0.48)1.00-yO3Nby组成的压电致动器,其中x>-0.02并且y>0。该压电材料可以具有钙钛矿,这使得当在致动器上施加偏压时可以具有良好的弯曲行为。...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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