溅射压电材料制造技术

本发明专利技术描述了具有Ｐｂ１．００＋ｘ（Ｚｒ０．５２Ｔｉ０．４８）１．００－ｙＯ３Ｎｂｙ组成的压电致动器，其中ｘ＞－０．０２并且ｙ＞０。该压电材料可以具有钙钛矿，这使得当在致动器上施加偏压时可以具有良好的弯曲行为。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】溅射压电材料
技术介绍
本专利技术涉及形成压电材料。压电材料在受到机械应力时能够产生电压差。备选地，在压电材料上施加电压可以引起逆压电性，即，在施加电压时压电材料机械变形。逆压电性可以在压电材料中引起极高的弯曲力。产生电和逆压电性这两种性质都被利用于在电和机械装置中的应用，诸如换能器，例如，致动器和传感器。包括致动器和传感器的组合的复式换能器可以一起组合在微机电系统(MEMS)中。压电材料如钛酸铅锆也可以用于形成铁电RAM (FRAM)。用于致动器或FRAM的压电材料可以获自压电材料的溶胶凝胶、陶瓷印刷电路基板(ceramic green sheet)、金属有机化学气相沉积(MOCVD)形成的层或者预烧制的块状体。然而，每种方法可能形成不同品质和组成的压电材料。例如，溶胶凝胶形成技术可能需要许多单独的薄层以形成厚的压电材料。并且溶胶凝胶形成可能在最终的材料中留下结合剂。MOCVD典型地形成压电材料的薄层，并且可能具有非常低的沉积速率。
技术实现思路
在一个实施方案中，压电材料包括Pbnx(Zra52Tia48)LyO3Nby的主体，其中χ > -0. 02 并且 y > 0。在又一本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种压电材料，所述压电材料包含Ｐｂ１．００＋ｘ（Ｚｒ０．５２Ｔｉ０．４８）１．００－ｙＯ３Ｎｂｙ的主体，其中ｘ＞－０．０２并且ｙ＞０。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：李有明，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：JP