温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

真空泵１６使真空容器１４内保持真空，透镜５２、５４将电子束６４聚焦，再将电子束６４照射在处理气体６６中。当随着处理气体中的ＮＯｘ浓度的增加而增大电子束的电流值时，根据灯丝３２的电流值、电弧电源３６的电流值、以及气体容器２０内的气体压力增大透...
该专利属于株式会社日立制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立制作所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。