【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子束气体处理装置，尤其涉及用于将电子束照射到处理气体中，并进行除去、降低气体中的有害物质，例如被排出的气体中的NOx、SOx的处理的合适的电子束气体处理装置。以往，作为对从火力发电厂所排出的气体的处理，使用了进行废气的脱硫、脱硝的电子束气体处理装置。该电子束气体处理装置是通过具备以下的装置而构成的，这些装置是，配置在导入作为被处理对象的废气的大气气体室的反应室中的3个差动排气室，邻接并配置在外侧的差动排气室的电子束室，以及通过引出电极将电子束照射在电子束室内的电子束源，并且由电子束源产生的电子束通过引出电极、电子束室、各差动排气室就会照射到反应室内的排出气体中。电子束室和各差动排气室内的排出气体通过旋转泵等真空泵被排气，各室内保持一定的真空度。另外，各差动排气室内配置了磁场透镜，导入各差动排气室内的电子束通过各磁场透镜聚焦，从而电子束就会聚焦在反应室内的指定位置。通过将电子束室以及各差动排气室内的真空度保持在指定的值，就能够使电子束的轨道保持为直线。此外，通过改变配置在电子束源中的灯丝的电流以及用于在电子束源内产生电弧放电的电弧电源的电流值，...
【技术保护点】
一种电子束气体处理装置包括：具有入口和出口的真空容器；将真空容器内的气体抽真空的排气装置；生成电子束并射入到真空容器的入口的电子束发生装置；将入射到真空容器的入口的电子束聚焦的第１电子束聚焦装置；以及将通过第１电子束聚焦装置聚焦的电子束聚焦后从出口射出到处理气体中的第２电子束聚焦装置。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：关博文，白形弘文，堀康郎，野繁男，
申请(专利权)人：株式会社日立制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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