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脉冲激光微沉积图案形成制造技术
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文档序号:7130694
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本申请披露了一种利用脉冲激光在透明基片上形成图案的方法。不同的实施例包括超短脉冲激光,对于激光波长透明的基片,和靶板。激光束被引导通过透明基片并聚焦在靶表面上。靶材料被激光烧蚀并且被沉积在相对的基片表面上。通过相对于靶扫描激光束形成图案,例...
该专利属于IMRA美国公司所有,仅供学习研究参考,未经过IMRA美国公司授权不得商用。
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