【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本申请涉及脉冲激光沉积，以及通过脉冲激光沉积形成图案化材料。
技术介绍
当将脉冲激光用于图案化材料沉积时，主要的两类方法是激光诱导顺向转移 (LIFT)和激光诱导逆向转移(LIBT)。烧蚀材料通过LIFT沿相同的方向或通过LIBT沿相对于入射激光相反的方向被转移至接收基片。在LIFT，靶膜需要被沉积在激光可透的支撑基片上。接收基片被放置成面向靶膜。从靶支撑基片的未涂层侧入射的激光束导致靶膜中的烧蚀。烧蚀材料沿与激光相同的方向被顺向转移，并且被转移至接收基片。在LIBT设置中，几何方向是相反的。激光首先被引导通过激光可透的接收基片并且聚焦在靶上。靶可以是由希望的靶材制成的板。在烧蚀后，烧蚀材料沿与入射激光束相反的方向被逆向转移并且沉积在接收基片上。若干LIFT方法披露于例如专利权人为Mayer的美国专利4，752，455和 6，159，832，专利权人为Williams等人的美国专利4，987，006，和专利权人为Chrisey等人的美国专利6，177，151和6，766，764中。几个LIBT方法披露于专利权人为Yu等人的美国专利5，173，441，专利权人为...
【技术保护点】
１．一种脉冲激光沉积以便在介质上产生图案的方法，所述介质在所述脉冲激光的波长下基本透明，所述方法包括：由脉冲激光源产生脉冲激光束；将所述脉冲激光束聚焦到靶上，所述靶产生喷出物来响应所述脉冲激光束和所述靶的相互作用；在所述介质上积聚至少一部分所述喷出物以便在所述介质上形成材料沉积物；和控制所述材料沉积物的厚度以改变所述介质的一区域的光密度，并且形成具有不同的光密度的空间图案。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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