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本发明公开了一种形成具有压电电阻的器件的方法。在一个实施例中，该方法包括：提供基底；在基底中蚀刻沟槽以形成竖直壁；在竖直壁上外延生长压电电阻层；以及使竖直壁与沿水平面延伸的基底的底层分离，以使得压电电阻层可相对于水平面内的底层运动。...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

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