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表面浮雕微结构、相关装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:7130185
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本发明涉及一种用于复制图案化的表面浮雕微结构的方法,该方法包括如下步骤:产生具有图案化的表面浮雕微结构的第一层;通过将第一层的微结构复制到第二层中来产生母版,从而涉及至少一个干法或湿法蚀刻步骤,其特征在于,该方法还包括附加步骤,在该附加步骤...
该专利属于罗利克有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗利克有限公司授权不得商用。
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