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本发明提供一种掩模板用基板、掩模板以及光掩模。该掩模板用基板是由正反两个主表面和四个端面构成的薄板，在端面与主表面之间设置倒角面。主表面的一条边的长度为５００ｍｍ以上。并且，在端面设置：从相邻的端面相接的角部起在主表面的边方向上具有规定长度...
该专利属于ＨＯＹＡ株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过ＨＯＹＡ株式会社授权不得商用。

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