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本发明的等离子体ＣＶＤ用绝缘膜材料由具有彼此键合并与硅原子一起形成环状结构的两个烃基或一个以上支链烃基的硅化合物构成，所述支链烃基中，作为与硅原子键合的碳原子的α碳构成亚甲基，且作为与该亚甲基键合的碳原子的β碳或作为与该β碳键合的碳原子的γ...该专利属于独立行政法人物质·材料研究机构所有，仅供学习研究参考，未经过独立行政法人物质·材料研究机构授权不得商用。
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本发明的等离子体ＣＶＤ用绝缘膜材料由具有彼此键合并与硅原子一起形成环状结构的两个烃基或一个以上支链烃基的硅化合物构成，所述支链烃基中，作为与硅原子键合的碳原子的α碳构成亚甲基，且作为与该亚甲基键合的碳原子的β碳或作为与该β碳键合的碳原子的γ...