下载欧姆电极及其形成方法的技术资料

文档序号:7128321

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本发明提供一种p型SiC半导体元件的欧姆电极,其包括由Ti3SiC2制成并且直接形成在p型SiC半导体的表面上的欧姆电极层。本发明还提供一种形成p型SiC半导体元件的欧姆电极的方法。所述欧姆电极包括欧姆电极层,该欧姆电极层由Ti3SiC2制...
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