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一种等离子体处理装置能够保证等离子体处理中的可追溯性。该等离子体处理装置被提供有数据记录单元（３５）、历史信息存储单元（４１）、以及制造历史文件创建单元（４２ａ）。数据记录部分在每次结束对待处理对象的等离子体处理时，读出日期和时间数据、对象...
该专利属于松下电器产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

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