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多深度浅沟槽隔离工艺制造技术
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文档序号:7127005
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本发明涉及一种用于制造半导体裸片的方法,其可具有以下步骤:提供半导体衬底;将所述衬底处理到其中可形成浅沟槽隔离(STI)的点;在晶片上沉积具有预定义的厚度的至少一个底层;在所述底层的顶部上沉积掩蔽层;使所述掩蔽层成形为具有预定义的深度的区域...
该专利属于密克罗奇普技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过密克罗奇普技术公司授权不得商用。
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