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超声波探头的制造方法以及超声波探头技术
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文档序号:7126931
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本发明提供一种超声波探头的制造方法及超声波探头。在形成作为保护膜的聚酰亚胺膜之前,使薄膜反复振动,从而评价上部电极与下部电极之间的绝缘耐压,预先除去因薄膜的反复振动而在上部电极与下部电极之间产生了绝缘耐压降低的不良半导体装置(CMUT)单元...
该专利属于株式会社日立医疗器械所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立医疗器械授权不得商用。
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