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本发明通过反应装置１０，提供了容易小型化、并且内部温度分布更加均匀、不易出现反应不均的反应装置。所述反应装置１０的特征在于，包括：在其内部进行反应的外筒１２，配置在外筒１２一端部侧、在被处理气体和处理过的气体之间进行热交换的热交换器１６，向...
该专利属于昭和电工株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过昭和电工株式会社授权不得商用。

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