【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及例如用于使氟化合物分解的反应装置等。
技术介绍
在现在的半导体器件的制造工艺中，有时要为了形成微细图案而进行蚀刻、清洗。 此时很多情况要使用氟化合物。此外，氟化合物一般较稳定，很多对人体无害，因此此外还作为例如空调的冷却介质使用。但这些氟化合物，很多是一旦放入到大气中就会对地球环境产生较大影响。S卩，破坏大气层的臭氧层，导致臭氧空洞产生。此外，其作为温室化气体是导致地球变暖的一个原因。而且，上述氟化合物一般较稳定，很多情况中其影响长期持续存在。因此，为了不对地球环境产生影响，需要使使用过后的氟化合物分解，变成对地球环境无害的状态后再放入到大气中。于是，在例如专利文献1中公开了一种含有氟的化合物的分解处理装置，其包括 填充有含铝催化剂的反应器，用于向在反应器中待处理的含有氟与、碳、硫或氮的化合物的气流中添加水蒸气的水添加器，以及，将填充在反应器中的催化剂和导入到反应器中的含有氟化合物的气流中的至少一者加热到可使氟化合物水解的温度的加热机构。此外，在专利文献2中公开了一种含有氟的化合物气体的处理装置，其包括外管、内管、设置在内管内部的催化剂层、和安装...
【技术保护点】
１．一种反应装置，其特征在于，包括：在内部进行反应的外筒，配置在上述外筒的一端部侧，在被处理气体和处理过的气体之间进行热交换的主热交换部，向上述主热交换部供给上述被处理气体的管，从上述主热交换部取出上述处理过的气体的管，以及与上述主热交换部连接，配置在上述外筒的内部，使上述被处理气体向与配置有上述主热交换部的端部侧远离开的该外筒的另一端部侧流通的内筒。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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