下载高级硅烷组合物和带膜的基板的制造方法的技术资料

文档序号:7126799

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本发明涉及高级硅烷组合物,其含有高级硅烷化合物和溶剂,其特征在于,上述溶剂含有环状烃,所述环状烃具有1个或2个双键,不具有烷基,仅由碳和氢构成,折射率为1.40~1.51,介电常数为3.0以下且分子量为180以下。本发明的高级硅烷组合物可以...
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