下载制造SiC单晶的方法的技术资料

文档序号:7126030

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在制造SiC单晶的方法中,通过使SiC晶种与溶液接触从而在所述SiC晶种上生长SiC单晶,所述SiC晶种被固定至可旋转的晶种固定轴,所述溶液通过在可旋转的坩埚内将碳溶于含硅的熔融液中而制得。所述方法包括:开始晶种固定轴的旋转,并在预定的延迟...
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