下载半导体用密封组合物、半导体装置及半导体装置的制造方法的技术资料

文档序号:7125937

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本发明提供一种半导体用密封组合物,其可形成薄的树脂层,且可抑制金属成分向多孔的层间绝缘层中扩散,并且配线材料的密接性优异。本发明的半导体用密封组合物是以如下方式而构成:使钠及钾的含量以元素基准计分别为10重量ppb以下的半导体用密封组合物中...
该专利属于三井化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三井化学株式会社授权不得商用。

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